| C06 (GF-6060) ප්රධාන එකතු කිරීම | |||
| ලිපි | පිරිවිතර | වෙළඳ නාමය | |
| රේඛීය මෝටරය | යූඑල්එම්ඒසී3, යූඑල්එම්සීසී2 | XL | |
| ග්රේටින් රූලර් කියවන හිස | විභේදනය 0.5μm/1μm (විකල්පය) | ස්පාඤ්ඤය | |
| රියදුරු | SCFD-4D52AEB2, SCFD-0062AEB2 හඳුන්වා දීම | ඩයිනාහෙඩ් | |
| Z අක්ෂයේ ඉස්කුරුප්පු රතු මොඩියුලය | XL-80h-s100 | XL | |
| කැපුම් හිස | බීටී 230 | රේටූල්ස් | |
| නිරවද්ය රේඛීය මාර්ගෝපදේශය | - | හිවින් | |
| කිරිගරුඬ | 1800*1350*200 | ෂැන්ඩොං | |
| දූවිලි ආවරණය | සම්මත | රේටූල්ස් | |
| ප්රධාන පරාමිතීන් | |||
| වැඩ කරන ප්රදේශය | 600මි.මී.*600මි.මී. | ||
| උපරිම ත්වරණය | 2-5ජී | ||
| X-අක්ෂයේ වේගවත් චලන වේගය | 60m/මිනිත්තුව | ||
| X-අක්ෂ ඵලදායී පහර | 600 මි.මී. | ||
| X-අක්ෂයේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය | ±0.01මි.මී. | ||
| X පුනරාවර්තන නිරවද්යතාවය | ±0.004 මි.මී. | ||
| Y-අක්ෂයේ වේගවත් චලනයේ වේගය | 60m/මිනිත්තුව | ||
| Y-අක්ෂ ඵලදායී පහර | 600 මි.මී. | ||
| Y-අක්ෂයේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය | ±0.01මි.මී. | ||
| Y පුනරාවර්තන නිරවද්යතාවය | ±0.004 මි.මී. | ||
| Z අක්ෂ ගමන් | 100 මි.මී. | ||
| වැඩ කරන වාතාවරණය | |||
| වැඩ කරන උෂ්ණත්වය | -10℃·45℃ | ||
| සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය | <90% ඝනීභවනය නැත | ||
| වටපිටාව | වාතාශ්රය, ප්රධාන කම්පනයක් නැත | ||
| වෝල්ටියතාවය | 3x380V±10% 220V±10% | ||
| බල සංඛ්යාතය | 50හර්ට්ස් | ||




