| C06 (GF-6060) הויפּט קאָלאָקאַציע | |||
| אַרטיקלען | ספּעציפֿיקאַציע | בראַנד | |
| לינעאַר מאָטאָר | ULMAC3, ULMCC2 | XL | |
| גראַטינג הערשער לייענען קאָפּ | רעזאָלוציע 0.5μm/1μm (אָפּציע) | שפּאַניע | |
| דרייווער | SCFD-4D52AEB2, SCFD-0062AEB2 | דינהעד | |
| ז אַקס שרויף רויט מאָדול | XL-80h-s100 | XL | |
| שניידנדיק קאָפּ | BT230 | רייַטואָלס | |
| פּרעציזיע לינעאַר גייד | - | היווין | |
| מאַרמאָר | 1800*1350*200 | שאַנדדאָנג | |
| שטויב דעקל | סטאַנדאַרט | רייַטואָלס | |
| הויפּט פּאַראַמעטערס | |||
| אַרבעטס־געגנט | 600 מ״מ*600 מ״מ | ||
| מאַקסימום אַקסעלעראַציע | 2-5G | ||
| X-אַקס שנעלע באַוועגונג גיכקייט | 60 מעטער/מינוט | ||
| X-אַקס עפעקטיווער סטראָוק | 600 מ״מ | ||
| X-אַקס פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ±0.01 מ״מ | ||
| X איבערחזרן אַקיעראַסי | ±0.004 מ״מ | ||
| Y-אַקס שנעל באַוועגונג גיכקייט | 60 מעטער/מינוט | ||
| עפעקטיווער סטראָוק פון דער י-אַקס | 600 מ״מ | ||
| Y-אַקס פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ±0.01 מ״מ | ||
| Y איבערחזרן אַקיעראַסי | ±0.004 מ״מ | ||
| ז אַקס רייזע | 100 מ״מ | ||
| אַרבעטס אַטמאָספֿערע | |||
| אַרבעט טעמפּעראַטור | -10℃·45℃ | ||
| רעלאַטיווע הומידיטי | <90% קיין קאנדענסאציע | ||
| סביבה | ווענטילאַציע, קיין גרויסע ווייבריישאַן | ||
| וואָולטאַזש | 3x380V ±10% 220V ±10% | ||
| מאַכט אָפטקייט | 50 הערץ | ||




